電子工業廠房潔凈技術的發展
四川華銳凈化 2019-05-02 10:51:35 閱讀
摘要：隨著科學技術的發展，現在越來越多的高科技產品來到了我們面前，因為畢竟是高科技產品，所以它的生產對于各項生產環節和生產工藝的要求也是非常高的。在這其中，對于生產車間也就是電子工業廠房的清潔要求也是比較高的，這就是我們需要注意的地方。本文針對現代電子工業廠房中的清潔技術進行探討，先論述了現代電子工業廠房中潔凈技術的現狀，然后又介紹了一種較為先進的新技術。
眾所周知，現在的電子科技產品都是比較精密高級的，稍微有一點差別可能就會導致整個生產過程的報廢，因此，在生產過程中應該及其注意各個能夠影響到電子產品生產的因素，其中電子工業廠房的環境是對于目前電子產品生產影響較為嚴重的一點。目前，眾多的電子工業廠房中都已經采取了各種各樣的技術來避免這一危害，也取得了不錯的成就，但仍然存在一些缺憾。
眾所周知，我國是個制造業生產的大國，其中電子工業產品的生產在我國也是比較多的，因此我國電子工業廠房也就發展的比較迅速，并且目前很多企業管理者都已經意識到了電子工業廠房的環境對于電子產品的生產的重要意義，也就采取了很多的措施。
目前我國針對電子工業廠房的環境進行的管理主要采取的是分區進行的，也就是在不同的分區采取不同的措施來進行管理。我們先來看下廠房的分區，主廠房的一側為辦公區，共三層：一層為大廳、一次更衣室等，二層為潔凈更衣室、潔凈服清洗等潔凈廠房的輔助房間，三層為辦公區；主廠房另一側為工藝生產區，根據生產工藝及建設期不同可分為五個區域，其中三個區域有防微振要求，采用典型的三層結構方式，即下夾層、工藝生產區及上夾層；另外還有一個區域為預留工藝區，樓板下沉600mm，架設回風隔柵地板；最后一個區域區域為普通凈化生產區。五個區域凈化方式各不相同，下面分別進行介紹：第一個區域為一期工程中除光刻外的其它工藝區，主要包括清洗、刻蝕、外延、氧化擴散、離子注入等工序，工藝生產區平面布局為傳統的海灣式，即工藝設備放在灰區（或稱為后區），操作面設在前區。前區潔凈度要求6 級，灰區為7級。當時資金非常緊張，所以采用傳統的凈化空調方式，即新、回風混合后經初、中效過濾器過濾，溫濕度處理后經風機加壓，再經過設在吊頂上的高效過濾器送風口過濾后送入室內，通過回風隔柵地板、下技術夾層回風。空調器采用臥式組合式空調器，集中設置在空調機房內。通常空調系統是根據生產工藝流程并且就近來進行系統劃分，但在此項目中不適用。工藝設備發熱量大部分集中在灰區， 前區發熱量很小，而前區的潔凈級別高，潔凈風量大，所需的送風溫差很小。相反的，灰區潔凈級別相對較低，滿足潔凈度要求所需潔凈風量相對較小，為消除工藝設備發熱量，在溫濕度允許的范圍內，盡可能加大送風溫差。經過計算，外延前區、氧化擴散前區、離子注入前區劃為一個系統，送風溫差為2.2C；而外延后區、氧化擴散后區、清洗灰區、離子注入后區劃為一個系統，送風溫差為l0C。這樣來劃分系統，最大限度地節省冷量及用電量。但相鄰的房間不是一個系統，一個系統的幾個房間分散開很遠的距離， 勢必造成管道交叉增多，給設計及施工增加難度。第二個區域為光刻間，潔凈級別為5 級，上夾層為送風靜壓箱， 吊頂由風機過濾器單元（FFU）+金屬吊頂框架組成，地面為架空回風隔柵地板， 安裝在防微振平臺上，保證生產區的垂直單向流。光刻間面積為450m2，一期工程實施l60m2，工藝設備發熱及圍護結構、人員、照明等計算得出實際需要的消除余熱量很小。考慮投資因素，沒有采用干冷卻盤管消除余熱的方式，而是選用一臺組合式空調器，采用類似于二次回風系統的方式， 即部分循環風回到空調器，與經初中效過濾后的新風混合，經表冷段、加熱段、加濕段及風機加壓，送到上夾層， 以保證房間的溫濕度要求。這種做法可減少二次冷凍水循環系統的投資，并使日常的運行管理簡單化，在當時情況下合理可行。第三區域為二期工程的工藝生產區，包括清洗、離子注入、CVD、刻蝕等工序，2003 年開始設計并實施。工藝生產區平面布局仍為海灣式，但與一期工程相比， 工藝設備對環境要求提高，前區潔凈度提高到5 級，灰區仍為7級。近兩年，國內IC 廠房建設項目如雨后春筍，操作區潔凈級別為5 級或更高，所以國內市場FFU用量大增，使得價格很快下降到業主可以接受的范圍， 所以二期工程采用FFU+新風系統的方式。FFU的個數根據凈化級別要求及負荷計算確定。IC 廠房生產過程中散濕量很小，可忽略不計，新風集中處理，由室內濕度敏感元件控制新風機組的表冷器上的電動閥和蒸汽加濕器的電動執行機構，滿足房間的濕度要求。房間的溫度由設在下夾層的干冷卻盤管保證。循環風經干冷卻盤管冷卻后與處理后的新風混合，進入上部送風靜壓室，經FFU 加壓、過濾后送入生產區，其氣流流程為：回風!干冷卻盤管!和新風混合!FFU!生產區!回風格柵地板!回風。干冷卻盤管的水管上設電動閥，由相應房間的溫度敏感元件控制。第四個區域為預留工藝區，空氣處理過程與上一區域相同，區別在于沒有下夾層，干冷卻盤管只能設在上夾層。為防止干冷卻盤管或管路漏水，需加裝滴水盤，給安裝、維護帶來麻煩。最后一個區域一期實施時為蒸發、合金間及磨片間，凈化級別為6 級，后因甲方工藝調整放置外延爐，要求在原有空調器不更換的條件下進行改造，操作面達到5 級，溫濕度要求為23 2C，45 10%； 灰區盡可能達到7 級， 溫濕度要求為18~28C，40~70%。經過核算，原有空調機能力剛好能滿足前區的凈化風量，所以建議甲方采用翻轉式凈化方式，即前區與灰區之間的隔墻下部設固定百葉風口，潔凈風全部送到前區，滿足前區的溫濕度及潔凈度要求，再通過百葉風口到灰區，消除房間余熱后，由吊頂上百葉風口回到空調機。這種做法不能保證灰區的溫度，只能用在灰區要求不嚴格的情況。
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